真空热处理炉的特点：水冷装置，真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置（水冷电极）、中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作。在这种极为不利的条件下工作，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。水蒸气为可凝性气体，当大量抽除可凝性气体时，对泵油的污染会更加严重，结果使泵的极限真空下降，破坏了泵的抽气性能。因此，各部件应该根据不同的情况设置水冷装置，以保证真空热处理炉能够正常运行并有足够的使用寿命。

采用低电压大电流：在真空容器内，当真空空度为几托一lxlo-1托的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会产生辉光放电现象。

随着人们思想的改变，对于大众化产品已经缺乏追求，转向特色产品显示出自身的鹤立鸡群，特色镀膜设备走入了每个行业每个镀膜企业。以往的镀膜设备由于排放***太多 麻烦污染环境等问题，一直受到人们的排斥，真空镀膜设备的出现，利用真空技术进行PVD物理镀膜，改变了人们对镀膜设备的看法。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。

二十世纪七十年代，随着真空镀膜技术的横空出世，***颠覆化学电镀技术，此技术不仅解决污染问题，所能镀制的产品范围更广，它的特色之一是可以镀制很多化学电镀不能实现的镀膜。在真空的发展过程中，镀膜设备齐头并进，在未来，有***成熟技术的真空镀膜设备这种特色产品必将得到更广阔的空间。以尘粒直径的大小来确定空气清洁度的标准，从而定制出洁净室的等级。

过去的镀膜多采用电镀法和化学镀法，存在着厚度难以控制、膜层均匀性差、附着力差等问题，三废污染特别严重，在人们环保意识逐步加强的今天，其发展已受到了多方面的制约。 绿色镀膜技术工艺过程简单，对环境友好，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。与传统的电镀法相比，真空镀膜技术具有很多的优点，如装饰效果好，金属质感强，易于操作等。镀膜设备在平板显示器中的应用：所有各类平板显示器都要用到各种类型的薄膜，而且几乎所有类型的平板显示器件都需要使用ITO膜，以满足透明电器的要求。特别在非金属物件的应用上，有着传统电镀无法比拟的优势。