沈阳诺思真空技术有限公司严格按照ISO9001质量认证体系运行，并拥有健全的售后服务体系，坚持为用户提供***的产品和服务。多年来我们同***各高等院校及科研院所密切合作，共同开发研制出了一批高技术装备。

面对多品种、小批量的生产特点和设备利用率偏低的客观事实，真空设备制造企业应在采用更科学的生产组织形式的基础上，加强设备综合管理及日常维修保养，在采用设备状态监测、故障诊断等技术的基础上，坚持以状态维修为主的维修方式，努力缩短停修时间，提高设备利用率。随着社会的发展，科技的进步，传感器技术的日趋成熟，越来越多的测温控制系统趋向于智能化发展，智能化已成为现代测温控制系统发展的主流方向。

化工行业经常使用的几种真空泵——化工行业上常见的真空泵可以简单的分为变容积式真空泵和喷射真空泵，变容积式真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气的装置，往复真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、水环真空泵、罗茨真空泵就是属于变容积式真空泵。温度是反应物体冷热程度的物理量，是衡量物体分子运动平均动能的标志。

往复真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵是靠活塞往复运动或旋转将气体吸入、压缩并排出。它们的优点是新投入使用的泵真空度相对比高。

喷射真空泵结构简单，操作方便，无运转部件维修量小，节能降耗等优点越来越广泛的应用在化工操作的各工艺中。

真空系统包括机械泵、低温泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、以及检测真空度的真空计。

相比较原来常用的机械油泵，可以***油泵中的油气进入真空室，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。通常在干泵抽到6.5Pa以下后，再打开闸板阀，用低温泵抽高真空，低温泵的特点是抽速大，尤其是除水蒸汽的能力非常强。

溅射镀膜系统由直流电源、靶材、冷却水、永磁铁、基片加热装置、挡板、屏蔽层等组成。这是磁控溅射台的***部分。

基片加热装置能除掉基片上的水蒸气等杂质，可以提高薄膜与基片的附着力，另外对于某些金属，合适的温度能提高薄膜的质量。