检漏时先将工件吊装至箱门托架中，到位后放好，将工件与系统连接，箱门手动关闭，按下启动按钮，，系统自动完成抽真空、微漏检测、回收、清氦等工作。

箱门关好后，系统对真空箱真空、抽真空，充氦检微漏。如果工件不合格系统将报警，无论工件合格与否系统都给出指示。对于不合格产品，系统发出报警信号，然后对真空箱充入大气，工件内氦气回收，然后中止检测程序，将工件从真空箱内移出；

微漏检测合格后，自动进入回收程序。充氦回收系统工作流程见图七。充氦过程为：对被检工件抽空后，开V1，对工件充氦气到规定压力后关V1。检完漏后，V2开，工件内氦气自动流入回收罐。然后V2关，V3开，机械泵抽出工件内剩余氦气并送入回收罐。同时主压缩机将回收罐内的氦气压缩至储气罐。因为不可能100%回收（回收率高于95%），所以当储气罐内压力或浓度低于规定值时，需开V6，补充氦气，以保持储气罐内的氦气有足够的压力和浓度。

1、设备占地面积约：长6米，宽4米（约24平米）高2.3米；

2、电源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，约15KW（外部电源用户自备）；

3、压缩气源及减压器：0.4～0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气(气动元件用、用户自备)；

4、氮气：99%纯度以上的瓶装气体（带减压阀），压力＞0.5Mpa（清氦用、用户自备）；