真空镀膜磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电子交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击亚气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。
不管平衡非平衡,若磁铁静止,其磁场特性决定一般靶材利用率小于30%。为增大靶材利用率,可采用旋转磁场。但旋转磁场需要旋转机构,同时溅射速率要减小。旋转磁场多用于大型或贵重靶。如半导体膜溅射。对于小型设备和一般工业设备,多用磁场静止靶源。
改善思路:基片本身的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本身可能是膜料匹配问题。
改善对策:
1、改进膜系,层不用氧化锆。
2、尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作。
3、真空室在更换护板、清洁后,好能空罩抽真空烘烤一下,更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。
4、改善环境
5、妥善保护进罩前在伞片上的镜片,免受污染。
6、改善洗净、擦拭效果。
7、改善膜匹配(考虑层用Al2O3)
8、改善膜充氧和蒸发速率(降低)
9、加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。
10、抛光加工完成的光面,必须立即清洁干净,不能有抛光粉或其他杂质附着干结。
当时,也就是二者的光程差为奇数个半波长时,两束光会抵消。
具体来说,波长和厚度d满足以上关系的光,就不会发生反射。
然后这部分的光就进入不了我们的眼中了,于是我们看到的就是其互补色。比如消了绿色的光,我们看到的镜片就是红色的。
互补色环:
镀了单层增透膜的镜片通常是蓝紫色或是红色,镀多层增透膜的镜片则呈淡绿色或暗紫色。
镀多层膜的目的一个是利用上面的公式,进一步提高透射率,另外的目的,就不仅仅在于增透了,如下图是树脂眼镜片上的镀膜,镜片上所镀膜层由下至上依次是镜片加硬膜、连接层、多层增透膜、镇水膜。
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