机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用比较广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

硬质涂层中的应用：切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。

在防护涂层中的应用：飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。

在光学薄膜领域中的应用：增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等。

在建筑玻璃方面的应用：阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。

在太阳能利用领域的应用：太阳能集热管、太阳能电池等。

在集成电路制造中的应用：薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。

1、东莞真空电镀厂的真空镀膜膜对人的危害很小的。

2、电磁辐射很小。

3、真空泵排气要直接到室外。

4、镀膜结束后，打开真空室时，可能会有大量灰尘，注意别吸到呼吸道中。

5、不要长时间观察等离子体束，可能对我们的眼睛有伤害。

6、如果需要加热，注意别烫到。

7、注意工艺气体不能泄露。

应该是真空溅镀，不是电镀。这种镀膜方式危害很小，对人体危害较大的就是打开真空室时产生的灰尘。