然而在10-9 mbar的超高真空中,同样的过程需要几个小时才能完成,从而保证表面特性研究的正常开展。分子束外延是一种新的晶体生长技术,其方法是将半导体衬底放置在超高真空腔体中,将需要生长的单晶物质分别放在不同的喷射炉中(也在腔体内);小车内侧的凸轮,需要为偏心滚轮,可调整凸轮和凸轮盘的接触紧密程度。分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流,能在上述衬底上生长出极薄的单晶体和几种物质交替的超晶格结构:
环形导轨/伺服电机驱动/二次定位
以环形导轨为***的精密环形流水线,可通过伺服电机驱动实现初定位,再通过滑座锁紧系统实现二次定位,从而实现,重复定位精度可达或超+/-0.05mm;下图为可实现二次的气缸驱动滑座锁紧系统:
为了实现,首先要确保初次定位的准确性,然后通过二次定位进行修正;能够修正,就意味着滑座在初次定位之后是可以稍微沿着导轨左右移动的;滑座和皮带/链条之间的连接,必须是弹性的,滑座稍微移动的时候,皮带/链条是不动的;凸轮有磨损的时候,更换和调整极其不方便:二:规格少小车间距,只有少数几个值,可供选择。如果是刚性的话,进行二次定位的时候,会导致皮带/链条和电机轴的窜动,引起伺服电机报警;
矩形滚轮导轨系统广泛应用在机器人第七轴中,包含如下四大组件:
一:矩形滚轮导轨
导轨上可直接加工出齿条,成为一体式齿条导轨:
二:滚轮组合
每个滚轮组合,安装有三个外球面滚轮轴承,分别在矩形导轨的3个工作面上滚动:
滚轮组合,也可采购滚轮,自行加工和装配滚轮组合:滚轮组合加工装配说明。
三:齿轮组件
齿轮组件,带有回差调节机构,方便调整齿轮和齿条之间的啮合间隙;
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