而对于水环真空泵由于未冷凝溶剂直接混入水里，无法进行常压条件的冷凝回收，因此溶剂回收率低，且产生大量废水。对于低沸溶剂，如、等，在真空条件下，冷凝温度很低，很难用-15 ℃冷盐水来冷凝，回收率会更低，只能让大部分低沸溶剂进入水里，产生废水。  

对于化工生产的安全和产品质量来看，无油干式螺杆真空泵也有其优点。我们使用的真空体系中往往有许多物料要与水发生反应，甚至产生分解的危险，水环真空泵存在突然停泵，水倒吸回真空系统的风险，容易产生安全风险，或对产品质量产生污染；而无油干式螺杆真空泵无水无油，即使倒吸也不会产生危险或污染，对安全和质量保障更为有利。

无油真空泵在电子技术领域的应用：一般工艺中的应用：(1)N2清洗，N2清洗的目的是稀释真空泵内部的反应气体；为泵的转轴提供密封；防止真空泵排气口渗入空气及水分。N：清洗的气体量可根据需要调整。(2)配冷阱，冷阱通常是装在真空泵的吸气口及排气口位置，目的是减少反应生成物渗入到泵的量，减轻真空泵的负担；减轻废气处理的负担。

无油螺杆泵

螺杆真空泵100m3/hr—1000m3/hr,可完全无油运行，它涉及到低碳生活和低生命周期成本。它的用途广泛，可用于食品包装、半导体、太阳能等众多领域，也可用于化学和制药行业。无油节能真空泵优势

VSA和VSB真空泵已通过各种认证。

优势一览

完全无油式运行

较高真空

具体方案的应用

可承受吸入水气较高的空气

目前，螺杆泵已被成功地应用于半导体、、食品、化工等众多工业领域，所占真空泵市场份额逐年上升。