无油螺杆真空泵,其主要由螺杆转子、壳体、齿轮、冷却循环和密封件构成。传动轴连接主动转子,通过高精度的同步齿轮带动转子旋向相反旋转,通过气体吸入、压缩、排气三个过程,达到抽气的目的。
螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵,多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联,相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言,因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道,而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧,因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。
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无油真空泵常见应用领域:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
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