水环式真空泵轴承发热的问题:若只要一侧密封失效时,会形成叶轮两边压力不平衡,转子发生轴向力,使轴承负载加剧,从而使轴承温度增加。为了避免类似问题的产生,定期的保养维护工作是不可缺少的,在一定程度上是有利于延长真空泵的使用寿命。以上是关于水环式真空泵轴承发热的问题,只要按照规定进行处理可以达到好的效果,延长使用寿命,如果大家有不明白的,可以和我们联系,我们会给您专门的建议,避免盲目操作造成损失。
水环式真空泵防气蚀的保护措施:很多真空设备都会有防气蚀保护措施,气蚀是一种客观存在的现象,工作时,真空度达到-0.093MPa及以上时,水环真空泵泵腔内的水很容易达到饱合蒸汽压,此时会产生很多气泡。这些气泡在排气端因压力增加会快速裂开,此时原气泡周围的水会迅速的填充原气泡的空间,从而对水环真空泵的叶轮及圆盘造成很大的冲击,并同时伴随着啪啪的刺耳声。
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无油真空泵常见应用领域:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。