干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。

干式螺杆真空泵出现于上世纪90年代初，由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。

泡沫厂用真空泵优点

无油螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室，转子与泵体之间没有磨擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔，当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。泡沫厂用真空泵优点

干式螺杆真空泵由于其***的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、准确加工等行业选择真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。泡沫厂用真空泵优点

干式螺杆真空泵的特点

　　干式螺杆真空泵零部件少，没有易损件，它运转可靠且寿命长，操作维护方便；

　　由于采用变螺距结构，比等螺距螺杆可节省30%能耗，排气温度较低；

　　干式螺杆真空泵机器可平稳地高速运行，噪声低；

　　具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响；

　　泵腔内的剩余物容易被清除。

螺杆式真空泵的工作原理

因为是脱胎于螺杆式压缩机，所以螺杆式真空泵的工作原理也与螺杆式压缩机类似。我们以近似的多头型线的来阐述：

1、吸气过程

图中可见，阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。图中上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

a、吸气过程即将开始    

b、吸气过程中        

c、吸气过程结束