真空泵企业对真空领域观察与分析,真空泵的发展不能够一直停留于原状,目前越来越多的项目需要真空系统,多为环保性、耐腐蚀效果强的应用产品,主要需求为:降低泵的振动和噪声,提高长期运行的可靠性,处理大量可凝性和挥发性气体,降低能耗和运行成本,消除废液处理和对环境的污染;要求耐腐蚀,耐粉尘以及获得清洁、无油的真空环境等。
螺杆式真空泵不仅适应性广泛,可以在恶劣条件下抽气,同时可以达到较高真空度(0.1~1Pa)。因此,随着半导体、石化行业的快速发展,螺杆式真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、化工领域,如半导体行业的气相沉积、蚀刻,化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。
虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵,但从长远来说,其宽适应、环保的特性以及低故障维修率,能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益,使用的更加广泛性必是未来的趋势。
螺杆式真空泵的结构 螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子,在泵腔中作同步、高速反向运转,周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。
螺杆式真空泵在结构上比较简单。形式上,螺杆式真空泵有卧式和立式之分;依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵;单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同,可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵,变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。
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