干式螺杆真空泵过流部件可采用镀镍处理，能耐受大部分有机酸气和无机酸气的腐蚀，在抽取含盐酸气的蒸馏体系中已成功运用。而水环泵由于不便进行防腐处理，一般不能使用于酸性体系；水喷射泵一般采用聚或玻璃钢材料制作而进行防腐，但这些材料并不耐受等长期的溶解腐蚀，且有机溶液在喷射泵内高速循环，容易产生静电着火的风险。

随着真空技术应用领域的不断壮大，各大厂家对各种真空设备的需求也有所改变，各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响。而今，一般的真空系统已无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求。因此，近年来螺杆真空泵市场需求量俱增。三木森真空泵公司

无油螺杆真空泵，利用一对螺杆在主机腔体中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用，安装在腔体中，两个螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，真空泵在工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油！

螺杆真空泵在空间模拟方面的应用

　　由于空间模拟装置其被抽容器的容积从几千立方米到几万立方米，真空度变化从几万Pa 到几个Pa，而且被抽气体中含有大量的水蒸气或部分氮氧化物，所以这种真空系统首先遇到问题就是预抽真空问题，如果选用传统的滑阀泵作前级泵则存在下列问题：

　　首先是滑阀泵在高入口压力下长时间运行，由于气流携带作用，其喷油现象十分严重，一是浪费大量昂贵的油，二是污染环境;

　　由于被抽气体中含有大量的水蒸气或氮氧化物，这些气体一旦进入泵内会使真空泵油迅速乳化变质，油的密封性破坏，导致真空性能下降，甚至使泵毁坏;

　　需要配置泵的数量多，而且滑阀泵的振动、噪声也大;

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