干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。

干式螺杆真空泵出现于上世纪90年代初，由于它具有抽速范围宽广、结构简单紧凑、泵腔内无摩擦元件、能耗低、无废液排放以及运行成本低等一系列优点，因而在半导体、光伏产业、化工、制药、石化、空间模拟、低压风洞等领域得到广泛应用。

罗茨真空泵质量优

。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比，各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境等。干式螺杆真空泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。罗茨真空泵质量优

干式螺杆真空泵的优点        

干式螺杆真空泵在工作时，相互之间无磨擦，运转相对平稳，噪音比较低，工作腔不需润滑油，因此，干式螺杆真空泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空度更高，消耗功率比较低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的升级版产品。罗茨真空泵质量优

螺杆式真空泵主要结构

上图可见，螺杆式真空泵在结构上比较简单。形式上，螺杆式真空泵有卧式和立式之分；依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵；单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同，可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵，变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。

多头型线在一个导程内即能完成吸气、压缩、排气过程，导程少，可有效减少泵的体积与重量，适用于大抽速领域，但其型线复杂，需道具与机床，加工费用昂贵，且由于泄漏三角的因素，真空度不高，因此市场上并不多见。

螺杆式真空泵主要结构

上图可见，螺杆式真空泵在结构上比较简单。形式上，螺杆式真空泵有卧式和立式之分；依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵；单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同，可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵，变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。

螺杆式真空泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。