螺杆真空泵是通过泵腔内一对作等速反向旋转螺杆的作用,吸入并排出被抽气体而形成高真空。泵的结构如图所示,螺杆轮廓型线是由阿基米德螺旋线和摆线曲线及圆弧等构成。在螺杆旋转时,两个螺杆之间、螺杆和泵体之间都保持一定的间隙且互不接触,因而运转时泵的摩擦损失很小,摩擦消耗功率,且可以实现高转速运转,被抽气体被平顺地压送到排气口并排至泵外。通过泵两侧的密封机构确保齿轮箱内的润滑油无法进入泵的吸气腔内。泵与电机均为卧式结构,泵采用联轴器与电机直联,整机安装在同一机架上。为了减少泵的排气噪声,泵的排气口装有。纸托厂真空泵质量好
纸托厂真空泵质量好对真空领域观察与分析,真空泵的发展不能够一直停留于原状,目前越来越多的项目需要真空系统,多为环保性、耐腐蚀效果强的应用产品,主要需求为:降低泵的振动和噪声,提高长期运行的可靠性,处理大量可凝性和挥发性气体,降低能耗和运行成本,消除废液处理和对环境的污染;要求耐腐蚀,耐粉尘以及获得清洁、无油的真空环境等。
螺杆式真空泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。
螺杆式真空泵的应用
螺杆式真空泵不仅适应性广泛,可以在恶劣条件下抽气,同时可以达到较高真空度(0.1~1Pa)。因此,随着半导体、石化行业的快速发展,螺杆式真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、化工领域,如半导体行业的气相沉积、蚀刻,化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。
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