各种不同的真空泵在真空系统中所起的作用

由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外，尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的，泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面。

1、在系统中做主泵

所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。

2、粗抽泵

粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。

3、前级泵

前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其许可的前级压强以下的真空泵。

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水环真空泵（又名液环式真空泵）是市面上粗真空应用范围内较为广泛的真空泵，液环泵在使用过程中经常出现真空泵达不到使用要求，像这样的情况基本上科归类为一下几点：

1）、真空泵循环水水温，温度过高，

2）、管道布局不合理，泄露、直角弯头。

3）、排液管道布局不合理，管道长，背压大

在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵，才能让真空泵既能够满足工艺要求，同时又能够长期稳定的运行，延长真空泵维修维保时间，节约运行成本，保证生产设备的生产效率，保证设备产能。

在CVD、PECVD、ALD等工艺中，真空腔体会通入各种各样的工艺气体来完成产品表面薄膜工艺，这些工艺气体在反应过程中有时会大量粉尘或容易结晶，如果粉尘和结晶物不能及时排除真空泵外，就容易在真空泵内沉积，堆积到一定量时就会造成真空泵叶轮、转子等卡滞，需要及时下机保养和维护，否则的话就会造成真空泵的更大的损坏，但是干式泵的维护成本又比较昂贵，选择一台耐粉尘，维保周期长的真空泵是非常重要的。