在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵，才能让真空泵既能够满足工艺要求，同时又能够长期稳定的运行，延长真空泵维修维保时间，节约运行成本，保证生产设备的生产效率，保证设备产能。

在CVD、PECVD、ALD等工艺中，真空腔体会通入各种各样的工艺气体来完成产品表面薄膜工艺，这些工艺气体在反应过程中有时会大量粉尘或容易结晶，如果粉尘和结晶物不能及时排除真空泵外，就容易在真空泵内沉积，堆积到一定量时就会造成真空泵叶轮、转子等卡滞，需要及时下机保养和维护，否则的话就会造成真空泵的更大的损坏，但是干式泵的维护成本又比较昂贵，选择一台耐粉尘，维保周期长的真空泵是非常重要的。

无油真空泵与油泵相比真空度低，抽气量小，但体积小巧，水环无油节能真空泵哪家好，易于安装，低压无油节能真空泵哪家好，维护简单，无油节能真空泵哪家好，移动方便，不产生油烟，不污染环境，尤其在要求较高的实验室使用较好。也是实验室常备的设备之一。

应具有充分良好的通风条件及低于40℃的环境温度。

无灰尘及脏物的清洁场所。

无水、油等液体会降落到泵上。

不直接暴露在阳光里。

目前市场需求开发的多用途真空系统，具有环保节能，噪声低的显著特点，是电子、医院、印刷、半导体、汽车、太阳能、食品、吸塑包装等行业理想的真空获得设备。

一体式真空系统，该系统具有可扩充，易于维护，噪声低，占地面积小等显著特点。手动自动运行的卧式中央式真空系统，该系统包含无油旋片式和单级油封旋片真空泵，一个碳钢卧式真空储气罐，电磁阀，一套手动自动PLC电气控制箱，过滤精度2微米的纸质滤芯过滤器，数字式真空开关等管路组成。

无油节能真空泵

真空泵普通是用来抽真空的，但是并不是一切的场所均请求真空度越低越好，而有的场所是请求控制在某一需求的真空度范围内

比常规真空泵节能30%-70%，可靠是节能环保型产品。应用机械、物理、化学或物理化学的办法对被抽容器停止抽气而取得真空的器件或设备，普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。