普通旺铺
中央真空系统安装服务放心可靠「多图」
来源:2592作者:2022/2/8 13:10:00










怎么样正确选择水环式真空泵


泵类型的确定

泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。

泵工作时,需要注意以下两个方面:

尽可能要求在区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。

应避免在大真空度或大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。

根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。





真空泵维修中应注意的几个要点

一、由于泵浦精度要求比较高,在维修前需要认真检测,不是非常必要则不必拆开,以修不当,降低精度。当然涉及部分零部件性能变差或者零部件配套间隙变异时,需要对其进行调整。

二、泵浦维修时,需要按部就班,不可硬拆、强拆。并要求对拆卸的泵浦零部件进行排序标示,一边装配时运用。例如莱宝真空泵维修,可以按照先拆卸电机,联轴器,端盖、取出主轴等顺序方法进行。但不管哪种泵浦在装配时都必须保证零部件的干燥与清洁。





在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵,才能让真空泵既能够满足工艺要求,同时又能够长期稳定的运行,延长真空泵维修维保时间,节约运行成本,保证生产设备的生产效率,保证设备产能。

在CVD、PECVD、ALD等工艺中,真空腔体会通入各种各样的工艺气体来完成产品表面薄膜工艺,这些工艺气体在反应过程中有时会大量粉尘或容易结晶,如果粉尘和结晶物不能及时排除真空泵外,就容易在真空泵内沉积,堆积到一定量时就会造成真空泵叶轮、转子等卡滞,需要及时下机保养和维护,否则的话就会造成真空泵的更大的损坏,但是干式泵的维护成本又比较昂贵,选择一台耐粉尘,维保周期长的真空泵是非常重要的。




王先生 (业务联系人)

18928222318

商户名称:东莞市三木森能源设备有限公司

版权所有©2025 天助网