无油真空泵检查：半年检：密封件等密封类附加是否正常。年检：1、轴承是否发生磨损。2、活塞环与活塞环衬套是否发生磨损。3、齿轮微量程度的磨损对转子正常工作是否产生影响，是否需要调整。定期性的工作：清洁真空泵表面以去除任何的灰尘。清洁所有通风的地方，以利散热。年度性的工作：拆开消音的器械并做清理，如有需要请作更换。更换空气过滤器滤芯。


在正常情况下，（允许的工作真空压力，和40℃以下的环境温度），每运转10000小时，或至少每二年要更换气缸与活塞环。检查轴承的情况，如果有磨损，请将活塞连杆组换掉。无油真空泵常识介绍：随着仪器仪表工业的发展以及人们对环保的要求，各国的无油真空泵应运而生，普遍有以下规律：振动和噪音。泵的抽气速率和真空度越高，振动和噪音也越大。


无油真空泵在电子技术领域的应用：通常我们在选择真空泵时多根据实际工况需要的真空度来选择真空泵的类型，依据抽气量来选择真空泵的抽速的。当然还有其他因素影响真空泵的应用，比如说真空电子技术领域里还应考虑工艺环境的清洁情况，实际工艺过程以及泵浦里面的反应气体和反应产物的颗粒。无油真空泵应用较为广泛的两个领域有半导体以及LCD制造。


无油真空泵在电子技术领域的应用：一般工艺中的应用：(1)N2清洗，N2清洗的目的是稀释真空泵内部的反应气体；为泵的转轴提供密封；防止真空泵排气口渗入空气及水分。N：清洗的气体量可根据需要调整。(2)配冷阱，冷阱通常是装在真空泵的吸气口及排气口位置，目的是减少反应生成物渗入到泵的量，减轻真空泵的负担；减轻废气处理的负担。