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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。

　　真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。

密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。

石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。

机械密封件中的叶轮锁母也不可以上得太紧，在常见的泄漏中，轴和轴套之间的渗漏会比较多，这不单只是叶轮锁母没锁紧的原因，其它很多的因素都会引起渗漏，轴间的垫圈变形、偏移、失效、轴间端面混入了杂质、轴套和轴间有比较大的形位的误差，接触面损坏、轴上的各个元件相互之间有间隙、轴头的螺纹过长等等，都会导致了轴间的渗漏，很多情况与液压密封件泄漏原因相似。检查压盖与轴外径的配合间隙，四周要均匀，各点允许偏差不大于0。

管道泵机械密封的使用注意事项及维护：

1.管道泵起动前应先盘动泵电机几圈，以免突然走动造成石墨环断裂损坏；

2.密封泄漏允差3滴/MIN，否则应该检修；

3.机械密封润滑应清洁无固体颗粒；

4.严禁机械密封在干磨情况下工作。

机械密封使用的固定螺钉，不要用硬化后的材料来做，因热处理会降低金属的耐蚀能力，而未经热处理的较软的固定螺钉能紧固在轴上。

振动、偏斜、不同心会使传动件磨损，如密封面启动时有粘住的现象时，传动件会弯曲甚至损坏，而磨擦作用产生的热常常加剧腐蚀。