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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。

　　真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。

密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。

石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。

渣浆泵机械密封的安装：

1、检查进行安装的机械密封的型号、规格是否无误;

2、检查渣浆泵与机械密封的安装相关联部位的尺寸精度、几何精度和相互关系是否符合技术要求。主要有以下几个方面：

的表面光洁度和外径尺寸公差。

中心线垂直度允差。

的端部，安装机械密封的壳体孔的端部结构之倒角和光洁度。

机械密封之转轴工作时的轴向位移量。

对于机械设备密封性的检查主要有以下几点：

（1）安装机械密封部位的轴(或轴套)的径向跳动允差，轴(或轴套)的表面光洁度和外径尺寸公差。

（2）密封腔和压盖结合定位端面对轴(或轴套)中心线垂直度允差。

（3）安装动环密封圈的轴(或轴套)的端部，安装机械密封的壳体孔的端部结构之倒角和光洁度。

（4）机械密封之转轴工作时的轴向位移量。

（5）安装机械密封过程中，应保持清洁，且不允许用工具敲打密封元件，以防损伤和破坏。