善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于 2015年 7 月份成立，公司注册资本 500 万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器国家重点实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的***和工程师共同创立，***从事***传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空***、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供***的监测系统及行业解决方案。        

公司在2015年成为科技型中小企业，并设立了院士工作站，目前主要开发和经营以下3类产品和服务：旋转机械状态监测和健康管理、光电视觉及环保检测、高精度几何量检测。相关技术打破国外垄断，技术水平达到国外同类产品的***水平。

科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室在纳米级高精度检焦系统方法研究中取得新进展：提出了一种双光路光强调制光栅检焦方法，该方法利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动导致的测量误差，具有纳米量级的测量精度，在光刻领域具有很大的应用价值。相关结果发表于近期的IEEE Photonics。

提高分辨力一直是光刻技术发展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，缩短波长是提高分辨力的有效手段。每次更短波长光刻的应用，都促使集成电路性能得到极大提升。而由焦深公式DOF=K2λ/NA2可知，提高分辨力总是以牺牲焦深为代价的。目前主流的投影光刻设备，即使采用离轴照明等波前工程技术，焦深也仅维持在百纳米量级，加上由真空吸附翘曲、衬底平整度、抗蚀剂厚度等引起的基片表面起伏变化焦深范围进一步缩小，为了使基片表面始终保持在投影系统焦深范围内，保证曝光图形质量，对检焦系统提出了极高的要求。目前***常用的调焦调平方法还是基于光栅的光电测量方法。该方法虽然精度较高且易于实现，但该测量方法易受光源或反射率波动引起的光强变化的影响，从而降低检测精度。因此，研究新型的检焦方法和消除光强波动带来的测量影响具有重要的研究价值。

     公司在2015年成为科技型中小企业，并设立了院士工作站，目前主要开发和经营以下3类产品和服务：旋转机械状态监测和健康管理、光电视觉及环保检测、高精度几何量检测。相关技术打破国外垄断，技术水平达到国外同类产品的***水平。　

纳米级重复定位精度超精密传动、驱动控制技术。为了实现光学级的确定性超精密加工，机床必须具有纳米级重复定位精度的刀具运动控制品质。伺服传动、驱动系统需消除一切非线性因数，特别是具有非线性特性的运动机构摩擦等效应。因此，采用气浮、液浮等无静摩擦效应轴承、导轨、平衡机构成了必然的选择。伺服运动控制器除了高分辨、高实时性要求外，控制算法模式也需不断进步。

通过纳米技术，可将原子级别的***输入细胞中，观察这些***对细胞的效果，以往一天才能做十个细胞的测试，现在一个小时可以测试一千个细胞。机器人通过这种微操控的形式对***进行测试，使测试的效率大大提升，并且能够让老药有一些新用法。

近年来，哈工大机器人集团主要围绕智慧工厂、工业机器人、服务机器人、特种机器人四大方向进行发展。其中，纳米操作机器人、微纳牛力测试仪等产品，彰显了机器人领域的前沿技术实力。有材料科学家提出，未来的制造业或许也将是原子级别甚至是纳米级别的制造，纳米机器人的操控将会发挥非常大的作用。