电容式位移传感器尤其适合缓慢变化或微小量的测量，一般来说采用电容式传感器进行检测比较适宜。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。电容式位移传感器的这些性能必然促使其应用范围越来越广泛。主要用于解决压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等测量问题。

优点：具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。

电容传感器是一种通过简单的机械结构就能实现低功耗、良好的动态性能以及非接触式测量等特点的传感器。容栅位移传感器是基于变面积工作原理的电容传感器，其电极的排列如同栅状，相当于多个变面积型电容传感器的并联。电容传感器能有效检测到微米级的位移变化，具有非常高的精度，应用前景广泛。目前主要广泛应用于***灾害监测、航空航天及工业生产中对微小位移、液位、压力、重力等参数的测量。

电容位移传感器，英文名称为capacitive type transducer，是一种将其他量的变换以电容的变化体现出来的仪器。如果电磁阀的驱动电源于直线位移传感器供电电源同时在一起的时候，更容易出现以上的情况，情况严重时用万用表的电压档甚至可以测量到电压的有关波动。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成，在压力作用下，薄膜产生一定的形变，上 下级间距离发生变化，导致电容变化，但电容并不随极间距离的变化而线性变化，其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。

振动传感器的类型对振动进行监控主要通过以下三种仪器：压电加速计应变片传感器涡流或电容位移传感器压电加速度计

加速度计是用于测量结构的振动或运动加速度的设备，可以把振动或运动变化引起的机械力利用压电效应转化为电流。（传感器离不开“压电效应”）压电加速度计有两种类型，高阻抗和低阻抗。

高阻抗加速度计产生的电荷直接连接到测量仪器。

而低阻抗加速度计需要相关放大电路蒋信号进行放大,这种类型的加速度计可与标准仪器连接