根据等离子体激元装置反射的激光的量，就可以得到间隙的宽度和纳米颗粒的运动。假设间隙由于纳米颗粒的运动而改变，使得等离子体激元的固有频率或谐振更接近于激光的频率。在这种情况下，等离子体激元能够从激光吸收更多的能量，并且反射较少的光。

为了在实用设备中使用这种运动感测技术，将黄金纳米颗粒嵌入微观尺度的机械结构中，这是一种由氮化硅制成的类似微型跳台的振动悬臂梁，只有几微米长。即使它们没有运动，这种装置也不会完全静止，而是以高频振动，在室温下随着分子的运动而推挤。即使振动的振幅很微小，仅移动了亚原子级距离，使用这种新的等离子体激元技术也很容易检测到。同理，通常都采用较大的机械结构进行科学测量并用作实际的传感器；，在汽车和智能手机中探测运动和方位。纳米位移计NLS1X采用光谱共焦原理，测量光源为白光，通过判断白光分解出来的各色波长与调节的物镜焦距相匹配，再通过接收端的光谱分析仪分析出接收到的光的主波长，从而确定测量值。NIST科学家希望他们这种纳米级测量运动的新方法将有助于进一步小型化许多这样的微机械系统，并提高其性能。