随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。如果电磁阀的驱动电源于直线位移传感器供电电源同时在一起的时候，更容易出现以上的情况，情况严重时用万用表的电压档甚至可以测量到电压的有关波动。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。

实际应用当中，源于***的磁屏蔽环设计，电容式传感器可以实现近乎的线性测量。但是，电容传感器要求探头到被测物体之间的电介质必须均匀恒定。测量系统对于测量范围内的电介质变化非常敏感。传感器输出信号为位移值，即使电源中断、重接，数据也不会丢失，更无须重新归零。电容式位移传感器也可以用于绝缘体的测量，源于这些绝缘体会改变测量间隙内的介电常数。通过后续电路的调整，即使测量绝缘体，也可以得到几乎线性的信号输出。源于电磁转化过程，电容传感器可以测量所有金属。电容测量系统主要测量平板电阻的阻抗值，阻抗值与探头到被测物体之间的距离成正比。

电容传感器的特点

电容变换器需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。 在有些条件下，这些力学量变化相当缓慢，而且变化范围， 测量要有较高的分辨率，其他传感器很难做到高分辨率要求， 而有的电容测微仪分辨率为0.01 μm， 大量程为100±5 μm，因此一般采用电容式传感器进行检测比较适宜，

这类传感器具有以下 突出优点：

高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小，输入能量也很低。

电容式传感器因带电极板间静电引力(约几个10-5N)，因此所需输入能量，所以特别适宜用来解决输入能量低的测量问题，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力非常髙，能感受0.001μm甚至更小的位移。

应变片传感器

应变传感器可以测量机器部件上的应变。是需要贴在被测对象上的，但安装相当有难度。应变仪是一种传感器，其电阻会随着施加的力而变化；它转换力，压力，张力，重量等，可以测量电阻的变化。同时在丈量中采用激光三角丈量法和激光回波分析法两种丈量方式，保证了丈量结果的快速性和***性。当外力施加到静止的物体上时，结果就是应力和应变。当对任何金属线施加应变时电线的长度增加而直径减小。长度的增加和直径的减小将改变导线的电阻这将使我们能够测量机器部件上的应变。