位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测，大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。动极板相对于定极板移动时，机械位移量转变为电容值的变化，通过电路转化得到电信号的相应变化量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目前分辨率可达到纳米级）、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。

变极距型电容传感器

变极距型电容传感器分为可动极板，一般称为动片和固定极板，当动片因被测量变化引起移动时，就改变了两极板间的距离d，从而使电容量发生变化。设初始极距为d，则

若电容器极板距离由初始值d缩小Δd不是线性关系。但是，若时。则式可以简化为

此时，C与Δd近似为线性关系，所以变极距型电容式传感器只有在Δd/d很小时，才有近似的线性关系，一般位移应小于间距的1/10。

在实际应用中，为了改善非线性、提高灵敏度和减少外界干扰的影响，电容传感器常做成差动形式。

电容位移传感器一般用于需要很高的精度的应用环境。他们被用于测量振动，振荡，膨胀，位移，挠度和形变等等测量任务。因此，电容式位移传感器经常被用作***。

电容位移传感器特点　　1.旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度；

　　2.往复机构的运动特性和重复定位精度；3.正弦波激振和脉激振中振动测量；

　　4.机器零部件相对振动相对变形；

　　5.盘类零件的端面振摆；

　　6.轴承间隙和油膜厚度；

　　7.检测零部件尺寸和平直度；

　　8.线切割机床电极丝的振动；

　　9.机床主轴热位移与动态加载试验测量；

　　10.也可用于金属导体之外的绝缘物体（如大理石、塑料、砂轮、玻璃、陶瓷等）的振动、位移测量。