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纳米级位移测量技术应用在线咨询
来源:2592作者:2020/9/4 14:29:00






     公司在2015年成为科技型中小企业,并设立了院士工作站,目前主要开发和经营以下3类产品和服务:旋转机械状态监测和健康管理、光电视觉及环保检测、高精度几何量检测。相关技术打破国外垄断,技术水平达到国外同类产品的***水平。 

纳米级重复定位精度超精密传动、驱动控制技术。为了实现光学级的确定性超精密加工,机床必须具有纳米级重复定位精度的刀具运动控制品质。伺服传动、驱动系统需消除一切非线性因数,特别是具有非线性特性的运动机构摩擦等效应。因此,采用气浮、液浮等无静摩擦效应轴承、导轨、平衡机构成了必然的选择。伺服运动控制器除了高分辨、高实时性要求外,控制算法模式也需不断进步。


  从20世纪50年代至70年代,栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅,这5种测量系统都是将一个栅距周期内的测量和周期外的增量式测量结合起来,测量单位不是像激光一样的光波波长,而是通用的米制(或英制)标尺。它们有各自的优点,相互补充,在竞争中都得到了发展。但光栅测量系统的综合技术性能优于其它4种,而且其制造费用又比感应同步器、磁栅、球栅低,因此光栅发展***快,技术性能很很高场占有率较高,产业很大。在栅式测量系统中,光栅的占有率已超过80%,光栅长度测量系统的分辨率已覆盖微米级、亚微米级和纳米级;测量速度从60m/min至480m/min。测量长度从1m、3m至30m和100m。


?纳米级重复定位精度超精密传动、驱动控制技术

微、纳米级高精度传感器的生产现场适应性更强,精度更高。RENISHAw的SP80超高精度数字式扫描测头,分辨率为0.02μm;ZEISS的VAST 三维六向扫描测头系统,采用平行片机构,分辨率为0.05μm,扫描范围达2mm。Werth的光纤测头,半径仅为12.5μm,号称世界较小,适用于超细、超精密工件的测量。

我国测量技术和相关仪器的研究取得了一系列重要进展,新型测量原理、测量技术、测量系统及仪器设备不断出现:新型传感原理及传感器、***制造的现场、非接触、数字化测量,微纳米级超精密测量、超大尺寸精密测量、基标准及相关测量理论研究等方面都有了长足的发展。


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