DWS型电容测微仪是电容不接触式通用性精密测量仪器，它既是测振仪，又是测微仪，既能测量动态位移，又能测量静态位移，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦，无磨损和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点，在科学院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工厂得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。复合加工是采用多种加工方法的复合作用，进行优势互补，相辅相成。仪器***，收到国内外用户的一致好评。

超精密测量用电容测微仪

电容测微仪的特点是非接触测量，精度高、价格低。但测量范围有限，测量稳定性和漂移常令人不满意。美国Lion Precision公司的电容测微仪分辨率可达0.5?mm(1?Hz频响)， 热漂移每度0.04%满量程。

精密和超精密加工技术是现代机械制造业***的发展方向之一，在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术中起着至关重要的作用，并且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。我国的制造业发展已进入了高速发展阶段，***设备的引进和大量***人才的涌入使许多沿海地区的制造业水平迅速提高。目前超精密加工已进入纳米级精度阶段，故出现了纳米加工及其相应的技术。随着国家决策的科学化、民主化进程不断深入，相信我国的制造业会更快速、更健康地发展。

1981年美国IBM公司研制成功的扫描隧道显微镜(STM)，将人们带到了微观世界。STM具有极高的空间分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分别达到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出单个原子)，广泛应用于表面科学、材料科学和生命科学等研究领域，在一定程度上推动了纳米技术的产生和发展。我国的制造业发展已进入了高速发展阶段，***设备的引进和大量***人才的涌入使许多沿海地区的制造业水平迅速提高。与此同时，基于STM相似原理与结构，相继产生了一系列利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或界面在纳米尺度上表现出来性质的扫描探针显微镜(SPM)，用来获取通过STM无法获取的有关表面结构和性质的各种信息。