随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。它采用非接触的测量方式，由于测量用的活动磁环和传感器自身并无直接接触，不至于被摩擦、磨损，因而其使用寿命长、环境适应能力强，可靠性高，安全性好，便于系统自动化工作，即使在恶劣的工业环境下，也能正常工作。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。

霍尔位移传感器依托霍尔周边信号传感器一起实现对电器元件、传感器接收信号处理。霍尔位移传感器安装在使用霍尔元件位置的固定塔的管箱内，管箱内的设备与常规设备相对应。

对于压力位移传感器来说，没有二位数、五位数的接口可供选择。液压控制（song-mobile）是通过对液体进行或经过特定工序的工作，而导致系统中某些部件或液体发生不良的一项分析技术。对这个装置的工作有下面几点要求：1、如果电子尺已经使用很长时间了，而且密封已经老化，同时夹杂着很多杂质，而且水混合物和油会严重影响电刷的接触电阻的，这样会使显示的数字不停地跳动。软件界面不简单，只能接受并处理。同时，软件在工作状态下自动调节油、液、气等的流量、温度、相变方向。

电容式位移传感器的使用方法：

1、要安装传感器，调整初始间隙，进行测量。

2、按下测量键，将传感器借助弹性夹套安装到磁表座上，使测量电极板端面接近被测物体的表面，平面或圆柱面，尽可能平行，球面尽可能对中，调整的初始间隙有参考值，调整时有“+”电压输出，反时针转动传感器微调螺母，使测量间隙逐渐增大，输出电压会逐渐接近零点，借助“调零”旋扭细调，使输出准确为0，调整时有“—”电压输出，顺时针转动微调螺母，使测量间隙逐渐减小、输出电压会逐渐接近零点，测量即可开始。电容位移传感器，英文名称为capacitivetypetransducer，是一种将其他量的变换以电容的变化体现出来的仪器。

3、测量时，被测物体表面接近传感器，测量间隙减小，表示被测尺寸增加，输出为“+”电压，反之输出为“—”电压，仪器输出的“+、—”电压就是相对应量程的静态位移。