由于超精密加工的精度等级和表面质量都很高，因此，一定要有相应的检测手段，才能验证工件是否达到了相应的技术要求。在精密超精密加工和测量中，对测量技术提出了更为严格的要求，即要求测量误差比加工误差高一个数量级。目前，超精密测量仪正向高分辨力、高准确度和高可靠性的方向发展。公司发展了分辨率均可以达到1?nm的测量元件；美国HP、zygo、英国Taylor等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。美国HP、zygo、英国Taylor等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。