电容式非接触式测微仪，通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移，测量精度为纳米级。测微仪由机箱与传感模块组成，可组成多测量通道数。

模块化设计、自由组拼、高分辨率、模拟输出、非接触式测量。

它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属时，传感器仍是线性的。

善测（天津）科技有限公司依托高校科研与国家重点实验室的资源和技术优势，截止2016年底，公司仅在成立1年多的时间里,高技术人才队伍已扩充至12人。已申请***数量达8项,2016年公司营业额突出210万元。按结合的机理、方法、强弱等，它又分为附着、注入(injection)和连接(jointed)三种。预计2017年再申报10项***,营业额达到700万元。

在2017年新的一年里，善测科技公司将在以下几个项目里完成预计的进度和新的突破。   1、高精度精密电容测微仪预计在2017年中旬完成高、中、低档产品系列化。目前高duan产品已经开始小批量生产。为航空***、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供***的监测系统及行业解决方案。2、振动及间隙测量系统已经完成升级优化，目前正与天津大***合参与商发机载项目合作，已完成工程样机评审，预计2017年进行初步测试。3、便携式LIBS重金属检测仪处于实验室原理验证阶段，预计2017年下半年完成样机开发。4、滑油金属屑末为2017年重点研发产品，预计2017年年底完成产品开发。

就***制造技术的技术实质性而论，主要有精密和超精密加工技术与制造自动化两大领域。前者包括了精密加工、超精密加工、微细加工，以及广为流传的纳米加工，它追求加工上的精度和表面质量的极限，可统称为精密工程；后者包括了设计、制造和管理的自动化，它不仅是快速响应市场需求、提高生产率、改善劳动条件的重要手段，而且是提高产品质量的有效方式。主放大器具有高输入阻抗，保证足够大的开环增益以实现高精度运算，其输出为一调幅波，幅值的变化与被测位移变化一一对应。两者密切联系，许多精密和超精密加工要靠自动化技术才能达到预期目标，而不少制造自动化则有赖于精密加工才能达到设计要求。

检测与误差补偿。尺寸和形位精度可用电子测微仪、电感测微仪、电容测微仪、自准直仪和激光干涉仪来测量。表面粗糙度可用电感式、压电晶体式表面形貌仪等进行接触测量，或用光纤法、电容法、超声微波法和隧道显微镜法进行非接触测量。表面应力、表面变质层深度、表面微裂纹等缺陷，可用***衍射法、激光干涉法等来测量。另外还有环境介质检测、电机转速测量、钢管直径测量、光盘平面度检测、磁盘动平衡测量、金属线膨胀系数测量等。检测可采取离线的、在位的和在线的三种方式。误差预防通过提高机床制造精度、保证加工环境条件等来减少误差源及其影响；误差补偿是在误差分离的基础上，利用误差补偿装置对误差值进行静态和动态补偿，以消除误差本身的影响。