在线在机测量技术成为大批量生产时保证加工质量的重要手段。计量型仪器进入生产现场、融入生产线，监控生产过程。仪器本身的可靠性、有效率、高精度以及质量统计功能、故障诊断功能进一步提高，满足了在线测量的要求。高精度数字化传感器的测量精度已实现从微米级向纳米级的提升；数字化测量仪器与机床集成进入生产现场，组成数字化加工系统：数控集成误差、工件毛坯安装误差及其环境误差的软件补偿技术得到进一步推广应用；非接触式扫描、视频测量技术和仪器备受重视；测量信息的无线传输和网络远程服务，进一步将被动型质量检测转换为主动型质量控制。美国Brown&Sharp公司的Bravo-NT 测量机可在汽车生产线上对车身尺寸实施在线测量并充分满足汽车生产线对测量节拍、测量精度和测量可靠性的要求；德国Kapp公司磨齿机的机载齿轮测量装置将测量系统和机床集成一体，可在工件试磨后马上进行在机检测，测量信息处理后能反馈至机床，及时修正加工参数。特别有利于大型、重型齿轮和大批量齿轮的成形磨削加工。德国Kapp公司磨齿机的机载齿轮测量装置将测量系统和机床集成一体，可在工件试磨后马上进行在机检测，测量信息处理后能反馈至机床，及时修正加工参数。

　提高分辨力一直是光刻技术发展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，缩短波长是提高分辨力的有效手段。每次更短波长光刻的应用，都促使集成电路性能得到极大提升。

　光电所采用三角法测量，Z向位移转化为标记光栅与检测光栅横向位移ΔX，通过两光路的信号比对横向位移量ΔX进行检测，实现检焦。该方法的两光路结构设计相同，两信号相位相差，利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动的影响，实现了纳米级的检焦精度。而由焦深公式DOF=K2λ/NA2可知，提高分辨力总是以牺牲焦深为代价的。

善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于 2015年 7 月份成立，公司注册资本 500 万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器国家重点实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的***和工程师共同创立，***从事***传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空***、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供***的监测系统及行业解决方案。由于作为确定位置的活动磁环和敏感元件并无直接接触，因此传感器可应用在极恶劣的工业环境中，不易受油渍、溶液、尘埃或其它污染的影响，IP防护等级在IP67以上。

物体的位移引起电位器移动端的电阻变化。阻值的变化量反映了位移的量值，阻值的增加还是减小则表明了位移的方向。通常在电位器上通以电源电压，以把电阻变化转换为电压输出。

由于作为确定位置的活动磁环和敏感元件并无直接接触，因此传感器可应用在极恶劣的工业环境中，不易受油渍、溶液、尘埃或其它污染的影响，IP防护等级在IP67以上。此外，传感器采用了高科技材料和***的电子处理技术，因而它能应用在高温、高压和高振荡的环境中。传感器输出信号为位移值，即使电源中断、重接，数据也不会丢失，更无须重新归零。位移是和物体的位置在运动过程中的移动有关的量，位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。由于敏感元件是非接触的，就算不断重复检测，也不会对传感器造成任何磨损，可以大大地提高检测的可靠性和使用寿命。