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来源:2592作者:2022/4/14 11:58:00








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石墨热场过程采取扩散形式,但各种材料的导热机理是不同的。者对材料的导热机理进行了详细的石墨热场讨论。固体内部的导热载体分别为电子、声子(点阵波) 、光子(电磁辐射)等三种。



石墨热场垂直于平面之热传导率由于声子受到边界散射的影响,会随着石墨热场层数增加而降低。

声子是晶格振动的化形式,但当两个晶体有边界不对齐时,热传递数值仅为1╱10。


热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。由于石墨材料本身所具有的多孔性和可渗透性,各层隔热材料之间不需要预留额外的空间。多晶石墨热场价格


石墨热场主要由三种材料组成:特种石墨用来做加热器、石墨电极、石墨坩埚、DS块、支撑杆、进气管等零部件。石墨热场是多晶硅铸锭炉的心脏、其内装石墨加热器、隔热层、坩埚和硅料等。多晶硅工艺生产过程中多晶硅铸锭炉加热室的结构设计显得至关重要。单晶炉用石墨热场系统简介:热系统长期使用在高温下,所以要求石墨材质结构致密、坚固、耐用、变形小、无空洞、无裂纹、金属杂质含量少。多晶石墨热场价格


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