真空腔体的焊接工艺

铝合金真空腔体密封水道焊接，有其特别的重要性。铝合金焊接本身就因为其特殊的物理性能，容易出现气孔，裂纹等缺陷。铝合金真空腔密封水道的焊接更加增添了焊接的难度，铝合金从固态转变为液态时，无明显的颜色变化，所以不易判断母材温度，焊接预热温度过低，起弧困难，焊接预热过高，影响母材组织性能，因此焊接预热温度，焊接速度的控制，都有很高的要求。另外，此零件焊接缺陷及其敏感，任何焊接不连续缺陷都是不允许的，焊后机加表面仍不允许出现气孔等缺陷，精加后先对零件进行氦气泄漏检测，检测要求氦测仪保持在1×10-9ATM CC/MEC以上，不漏；氦测后水压测试，水压保持120PISG，要求保压1h不漏，因此，铝合金水道盖板与真空腔体水道进行焊接的焊接难度较大，因此焊接工艺是非常重要的。

真空腔体制造解决方案

使用磁流体密封件作为在旋转过程中真空解决方案。磁流体密封件可以隔绝大气和污染物。河南晶珂锐真空科技有限公司

制备的石英用来制造视口及配件等组件，石英在许多其他加工工艺中也有使用。

真空镀膜可选Ferrotec的PVD电子束蒸发系统。

复杂的真空腔体通常需要定制，即针对应用终端进行专门的设计和制作。某些常见的真空腔体已经过预先设计，如手套箱、焊接室、脱气箱、表面分析真空腔等。例如脱气箱和手套箱一般采用低真空环境，可用于焊接，或用于塑料制品、复合材料层压板、封装组件等的脱气。

真空腔体的焊接原则

超高真空腔体的弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。

真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现超高真空，要对腔体进行150——250℃的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。

真空腔体中抽气管道的设计原则

工艺室的抽气速率将低于泵入口的抽气速率，相差多少取决于抽气管道的属性(例如长度和尺寸)。尽量降低工艺室和泵入口之间的压力差就可以使抽气速率损失减到少。

显然，抽气管道的属性对于性能十分关键。此时还需要考虑其它因素：流导。

我们采用流导(阻力的倒数)这一术语来定义“管道传递流动的能力”。流导的计量单位是每单位时间的体积并且和抽气速率的单位相同。工艺室抽气速率(S)可用抽气管道流导(C)和应用泵速(Sp)计算，如下所示：

S = (Sp*C)/(Sp+C)

当C远远大于Sp时，则S近似为Sp；当Sp远远大于C时，则S近似为C。真空腔体

工艺室的抽气速率始终低于应用泵速而且低于抽气管道中部件的小流导(通常为小直径)。

在某种程度上管道短而粗是好的

采用短的大直径抽气管道尽量提高管道流导是不错的做法，但只限于当抽气速度S接近泵速(Sp)极值的情况。

除此之外，通过增加管道直径(成本也会相应增加)来增加流导并不能显著提高工艺室抽气速率；换而言之，如果抽气管道流导受限并且由于物理因素不能增加，当(S)接近管道流导(C)极值，一味通过增加应用泵速来提高工艺抽气速度也是不经济的。