苏州市步敏光电科技有限公司致力于为中国PCB、EPC企业提供***低能耗精密平行光曝光机。成为中国最早从事曝光机研发和制造的领1先企业,一并获得了苏州市科技型资格确认;江苏省民营科技型企业称号;江苏省高新技术产品荣誉证书,并获予多项发明***。
曝光机工作原理
在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。
曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。
曝光机是20 世纪 60 年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来, 70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。
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