硅片腐蚀利用晶硅腐蚀作用,去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层,同时利用对硅腐蚀的各向异性,争取表面较低反射率较低的表面织构。解释:①现有多晶硅片是由长方体晶锭在多线切割锯切成一片片多晶硅方片。由于切片是钢丝在金刚砂溶液作用下多次往返削切成硅片,金刚砂硬度很高,会在硅片表面带来一定的机械损伤。如果损伤不去除,会影响太阳电池的填充因子。②是在国民经济生产中大量应用化工产品。由电解水而得,价格比较便宜,每500克6元。化学反应方程式为:2NaCl + 2H2O ==通电== 2NaOH + Cl2↑ + H2↑ 。分③碱性腐蚀优点是反应生成物无·,不污染空气和环境。不像HF-HNO3酸性系统会生成有·的NOx气体污染大气。另外,碱性系统与硅反应,基本处于受控状态。有利于大面积硅片的腐蚀,可以保证一定的平行度。
公共事业、电力、煤气、新闻通讯行业:
需要清洗的产品:各类计量仪表、功率计、各类照明灯具、、隔电瓷瓶、通讯设备关键零部件等
污染源:油墨、油、灰尘、线头、锈、泥、海盐
使用清洗剂:有机洗涤剂;轻油(石油系洗涤剂);碱性洗涤剂、中性洗涤剂
按频率波可以分为三种,即次声波、声波、超声波。次声波的频率为20Hz以下;声波的频率为20Hz~20kHz;超声波的频率则为20kHz以上。其中的次声波和超声波一般人耳是听不到的。超声波由于频率高、波长短,因而传播的方向性好、穿透能力强,这也就是设计制作超声波清洗机的原因。
面板显示使用的是玻璃基板作为电路的载体,所有的膜质以及对膜质光刻后的图形都是依附在玻璃基板上。在每次成膜或者光刻前都要对玻璃基板表面进行深入清洁,虽然玻璃基板是在无尘车间里运行,但是,还是会存在各种异物(particle):无机类异物和有机类异物,所以,清洗设备的较大作用就是去除表面的异物,来提升产品的整体良率。
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