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晶圆腐蚀台***「苏州晶淼半导体」
来源:2592作者:2022/9/5 10:18:00






我国在上世纪60年代自行研制和生产了首台计算机,其占用面积大约为100 m2以上,现在的便携式计算机只有书包大小,而将来的计算机可能只与钢笔一样大小或更小。计算机体积的这种迅速缩小而其功能越来越强大就是半导体科技发展的一个很好的佐证,其功劳主要归结于:(1)半导体芯片集成度的大幅度提高和晶圆制造(Wafer fabrication)中光刻精度的提高,使得芯片的功能日益强大而尺寸反而更小;(2)半导体封装技术的提高从而大大地提高了印刷线路板上集成电路的密集度,使得电子产品的体积大幅度地降低。


半导体封装形式介绍

3.3.5 封装晶片级封装CSP(Chip Scale Package)。几年之前以上所有的封装其封装本体面积与芯片面积之比通常都是几倍到几十倍,但近几年来有些公司在BGA、TSOP的基础上加以改进而使得封装本体面积与芯片面积之比减小到接近1的水平,所以就在原来的封装名称下冠以芯片级封装以用来和以前封装的区别。就目前来看,人们对芯片级封装还没有一个统一的定义,有些公司将封装本体面积与芯片面积之比小于2的定为CSP,而有些公司将封装本体面积与芯片面积之比小于1.4或1.2的定为CSP。目前开发应用为广泛的是FBGA和QFN等,主要用于内存件和逻辑器件。就目前来看CSP的引脚数还不可能太多,从几十到一百以上。这种高密度、小巧、扁薄的封装非常适用于设计小巧的掌上型消费类电子装置,如个人信息工具、手机、摄录一体机、以及数码相机等。




等离子清洗机的处理可以提高材料表面的润湿性,进行各种材料的涂镀、电镀等操作,提高粘合强度和粘合强度,去除有机污染物,油类和油脂增加。同时。等离子清洁剂用于胶合、焊接、印刷、涂层和涂层等应用。等离子体作用于产品表面,去除产品表面的有机污染物,提高和活化产品的表面活性。就目前来看,人们对芯片级封装还没有一个统一的定义,有些公司将封装本体面积与芯片面积之比小于2的定为CSP,而有些公司将封装本体面积与芯片面积之比小于1.4或1.2的定为CSP。





SSEC单片处理技术使得晶圆在湿法处理时实现了对另一面的保护隔离了液体、水汽、物理的接触。应用范围包括单面湿法刻蚀、背部剥离、斜面清洗、晶圆减薄。对晶圆背部的处理取决于具体的应用。对于背部的清洗,将装有边缘夹具。对于晶圆减薄的应用,将使用真空吸附进行晶圆固定。

学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,后还有DI清洗。IPA是,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的。





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