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鄂尔多斯二手1260液相设备厂家询价咨询「多图」
来源:2592作者:2022/8/5 6:03:00






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低温硅液相外延:低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中,由于新的溶剂(主要是Ag,Au及其合金)不断发现,大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上,Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值,而当生长温度低于500℃时,Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。



1、进样量范围:

0.1 – 900μL,增量为 0.1μL (推荐增量为 1μL)

使用多次抽取升级工具包时(需要改动硬件)达 1800μL

2、精度:

5-2000 μL 内,峰面积精度一般 < 0.5 % RSD

2000 – 5000 μL内,峰面积精度一般 < 1 % RSD

1 – 5 μL内,峰面积精度一般 < 3 % RSD

可变体积

3、样品黏度范围:0.2 ~ 5 cp

4、样品容量:

1 个样品盘上 100 ×2 ml 样品瓶,

1/2 盘上 40 ×2 ml 样品瓶

1/2 盘上 15 ×6 ml (安捷伦样品瓶)





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