高纯六氟化硫

用途：在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源，不会产生含碳副产品；

变压器中的绝缘介质；

金属冶炼中的保护气氛；

六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体

电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域

作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂

作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂

肝i脏肿i瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途

三氟甲i烷 （CHF3)

包装：采用40L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。

用途：用作电子工业等离子体化学蚀刻剂、低温（-100℃）制冷剂及氟有机化合物的原料。

理化性质: 是一种无色、微味，不导电的低毒类气体，是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲i烷具有窒息麻i醉作用，对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻i伤。

注意事项：储存于阴凉、通风的不燃气体库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易（可）燃物分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

各类气瓶管理制度汇总

1.目的：建立一个管理、使用、充装、检查、运输、储存、附件、监督检查管理程序

2.范围：气瓶使用、储存部门

3.责任者：工程部、安全部、仓储科、保卫科、使用部门

4.程序：

气瓶必须指i定专人管理，每次下班前应详细检查气瓶附件是否齐全可靠，放置位置是否符合规定。

气瓶使用中应遵守以下规定：

禁止敲击，碰撞。

瓶阀冻i结时，不得用火烘烤。

气瓶不得靠近热源，可燃、助燃性的气体的气瓶与明火的距离一般不得小于10米。

夏季要防止日光爆晒。

瓶内气体不能用尽，必须留有剩余压力，瓶内低于50kPa时，不得继续使用，并在瓶身上标上用完记号。

开闭气阀时，操作人员应站在气瓶侧面，用工具慢慢开启或关闭

开闭氨气、C?H?有毒、有腐蚀性气体瓶时，应按安全规定穿戴劳动保护用品。

气瓶充装与定期检查。

凡不符合下列情况之一者，应事***行妥善处理，否则严禁充装。

漆色、字样不易识别气瓶种类的；

安全附件不全，损坏或不符合规定的。