影响影像测量仪精度的因素主要有精度指示、结构原理、测量方法、日常不注意维护等。 中国1994年实行了国际《坐标测量的验收检测和复检测量》的实施。具体内容如下：部分：测量线性尺寸的坐标测量机;第2部分：配置转台轴线为第四轴的坐标测量机;第3部分：扫描测量型坐标测量机;第4部分：多探针探测系统的坐标测量机;第5部分：计算高斯辅助要素的误差评定。 在测量空间的任意7种不同的方位，测量一组5种尺寸的量块，每种量块长度分别测量3次所有测量结果必须在规定的MPEE值范围内。




维护保养1、仪器应放在清洁干燥的室内（室温20℃±5℃，湿度低于60%），避免光学零件表面污损、金属零件生锈、尘埃杂物落入运动导轨，影响仪器性能。2、仪器使用完毕，工作面应随时擦干净，好再罩上防尘套。3、仪器的传动机构及运动导轨应定期上润滑油，使机构运动顺畅，保持良好的使用状态。4、工作台玻璃及油漆表面脏了，可以用中性清洁剂与清水擦干净。能用擦拭油漆表面，否则，会使油漆表面失去光泽。




CNC影像测量仪的机械结构包括：测量平台、Z轴、显微镜、CCD、光源、电控系统和计算机。影像测量仪是一种广泛应用于以二坐标测量为目的机械、电子、仪表、五金、塑胶等行业的高精度、高科技测量仪器，集光、机、电、计算机图像技术于一体，又称精密影像式测绘仪。 影像测量仪一般分为二维影像测量仪、二次元、自动影像测量仪、全自动影像测量仪、二次元影像测量仪、2.5D影像测量仪、影像测绘仪、类影像测量仪以及齿轮影像测量仪等。 

轻型零件：对小的轻型零件，可以用橡皮泥、仪器腊等材料来固定零件，但用户应确保在测量结束以后从机器和零件上清除所有的痕迹。在某些情况下要用机械的方法把零件固定在三次元测量仪上，用户应当知道夹持力会引起零件变形，因此必须注意不要过分夹紧，推荐在夹具和零件间隔软的垫子。磁力的及真空卡盘亦可以作为另一种夹持方法。

   重型零件：若被测零件足够重，以至于不需任何夹持装置就可以稳定的放在机器台面上;用户应当知道测量时零件处于自由状态，亦就是不需用任何安全装置，工件不会产生位移，但是操作者要知道重型零件必然会引起机器变形。