影响影像测量仪精度的因素主要有精度指示、结构原理、测量方法、日常不注意维护等。 中国1994年实行了国际《坐标测量的验收检测和复检测量》的实施。具体内容如下：部分：测量线性尺寸的坐标测量机;第2部分：配置转台轴线为第四轴的坐标测量机;第3部分：扫描测量型坐标测量机;第4部分：多探针探测系统的坐标测量机;第5部分：计算高斯辅助要素的误差评定。 在测量空间的任意7种不同的方位，测量一组5种尺寸的量块，每种量块长度分别测量3次所有测量结果必须在规定的MPEE值范围内。


大允许探测误差(MPEP)：25点测量精密标准球，探测点分布均匀。大允许探测误差MPEP值为所有测量半径的大值。ISO 10360-3 (2000) “配置转台轴线为第四轴的坐标测量机” ：对于配备了转台的测量机来说，测量机的测量误差在这部分进行了定义。主要包含三个指标：径向四轴误差(FR)、切向四轴误差(FT)、轴向四轴误差(FA)。ISO 10360-4 (2003) “扫描测量型坐标测量机” ：这个部分适用于具有连续扫描功能的坐标测量机。它描述了在扫描模式下的测量误差。


二次元影像测量仪又可以叫二次元测量仪或二次元量测仪，这是一种基于CCD数位影像并依附于显示屏测量技术与几何空间测算的强大软件设备。二次元影像测量仪因为可以测量二维平面尺寸，所以被广泛的应用于精密行业，比如机械、电子、仪表、五金、塑胶等行业。二次元影像测量仪运用几何空间软件模块把获取到的光学尺位移数值进行测算，从而形成所需图形，通过图形对比，工作人员可以直观地对测量结果进行一系列的分析，从而分辨出测量结果是否存在误差。这种简单快捷并能准确实现复杂的精密测量运算正是二次元影像测量仪的强大之处。