影响影像测量仪精度的因素主要有精度指示、结构原理、测量方法、日常不注意维护等。 中国1994年实行了国际《坐标测量的验收检测和复检测量》的实施。具体内容如下：部分：测量线性尺寸的坐标测量机;第2部分：配置转台轴线为第四轴的坐标测量机;第3部分：扫描测量型坐标测量机;第4部分：多探针探测系统的坐标测量机;第5部分：计算高斯辅助要素的误差评定。 在测量空间的任意7种不同的方位，测量一组5种尺寸的量块，每种量块长度分别测量3次所有测量结果必须在规定的MPEE值范围内。

轻型零件：对小的轻型零件，可以用橡皮泥、仪器腊等材料来固定零件，但用户应确保在测量结束以后从机器和零件上清除所有的痕迹。在某些情况下要用机械的方法把零件固定在三次元测量仪上，用户应当知道夹持力会引起零件变形，因此必须注意不要过分夹紧，推荐在夹具和零件间隔软的垫子。磁力的及真空卡盘亦可以作为另一种夹持方法。

   重型零件：若被测零件足够重，以至于不需任何夹持装置就可以稳定的放在机器台面上;用户应当知道测量时零件处于自由状态，亦就是不需用任何安全装置，工件不会产生位移，但是操作者要知道重型零件必然会引起机器变形。

、确保全自动影像测量仪在有效的校准期间。定期查看出厂时影像测量设备所标有的测量不确定度，这代表实际测量产品时可能出现的误差范围，设备在使用一段时间后，需要进行校准。不断总结经验：针对不同产品边界需要配合不同光源和光线强度，如轮廓边、弱边、倒角等位置，影像测量仪的测量员需要记录，不断积累经验。全自动影像测量仪还可以结合测量需要，放大测量倍数，统筹规划并合理安排测量路线，这可以使工作人员轻松快速实现高测量。