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标准校正气体的均匀性
标准校正气体属于气体标准物质,与其它固体、液体标准物质一样,其均匀性是一项分重要的基本特征之一。虽然各种气体具有较大的流动性和扩散能力,由于配置标准校正气体时,几种组分气体先后充入高压钢瓶内,加之各组分的分子量差异,结果使钢瓶内的气体组分分布得不均匀,有的还可能产生分层的现象。另外,气体组分与钢瓶内壁之间存在着一个吸附和脱附平衡过程,这对标准气体的组分的均匀性产生不利的影响。正由于上述原因,配置标准校正气体尚需采取一定混均处理手段,以解决充入钢瓶内各组分气均匀性的问题。钢瓶旋转滚动法是解决标准校正气体混均的一种快捷、简易、行之有效的方法。行业现状:三氯氢硅在生产中消耗大量的氯i气和氢气,是氯碱企业的一种很好的平衡氯i气提高经济效益的产品。而自然扩散法也能使标准校正气体混合均匀,只不过达到均匀状态所需的时间较长。
标准校正气体的稳定性和有效期
标准校正气体属于气体标准物质,它的稳定性也是一项很重要的基本特征。标准气体的稳定性包含两方面的内容,即标准校正气体组分含量随时间的变化和标准校正气体组分含量随压力的变化。一般来说,一级气体标准物质的稳定性考察实验需要一年以上,二级气体标准物质稳定性则需半年以上考察时间。根据稳定性考察实验结果,才能确定出标准校正气体的使用有效期限,即标准校正气体的有效期。沸腾氯化法硅粉经干燥后加入氯化沸腾炉,与通人炉中的干燥氯化氢气体在340℃进行反应。标准校正气体有效期长短,不能随意给定,必需以稳定性考察实验结果为依据。
近年来随着光电子、微电子技术的发展,特别是氮化技术的突破,对特种气体的需求和技术要求愈来愈高。越来越多的生产厂家和用户开始关注原材料的质量及其对生产、销售和企业经济效益带来的影响。
根据国家半导体照明工程研发及产业联盟统计,从2004年开始国内LED产业累计新增投资规模达150亿元,近连续3年,每年企业订购并安装投入的MOCVD数量超过50台以上,国产化率大幅提高,截止2008年底,芯片国产化率达到49%。
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