制备

1、直接合成法 经净化后的氟（含HF≤0．5%）和硫反应生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶及分子筛干燥器干燥后，制得六氟化硫产品。

将硫、二氯化LIU、一氯化硫、二liu化碳或硫化氢等加入到无水氟化氢中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。或氟和硫直接反应制备六氟化硫。还可以金属氧化物为催化剂于300℃下用空气氧化四氟化liu，或者在500～2000℃使氟化硫热解。

作用用途

新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。六氟化硫气体泄漏检测技术SF6气体泄漏检测主要采用了电化学技术、电i击穿技术和红外光谱吸收技术。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子加su器及避雷器中。利用其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作温度－45~0℃之间）。由于对α粒子有高度的停止能力，还用于放i射化学。此外还作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。

纯净的SF6气体虽然无毒，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的危险，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。

　　在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备。

红外光谱技术（IAC510）

红外光谱吸收技术(又称激光技术）的原理是SF6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。浓度过大会出现使人窒息的危险，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。

     为何会发生六氟化硫气体中i毒？由于技术问题等原因，有些SF6气体产品的纯度不达标，出厂时就会带有一些有害杂质。还有一种情况是在处理SF6气体设备时，人员操作不当，导致SF6电力设备泄 i露，有i毒有害物质泄 i露，导致六氟化硫气体中i毒。当然也有部分企业在定期检查检漏时偷工减料，导致设备故障，从而发生六氟化硫气体中i毒。当出现SF6气体含量增i高或超过标准时，应随即对部件进行详细检查，查找原因并予以消除。