电子制造业洁净室的特点:洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。安全设备(道屏障):4、可能接触潜在传播源、被污染的表面或设备时,要戴手套。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22°C左右,相对湿度控制在50-608之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地去除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。
为防止扩散和污染空气,产生部位常采用局部排风措施。为了回收排风带走的物料及防上污处室外大气,通常排风要经过重力沉降室,靠离心力和惯性力使固气分离的旋风除全器和多管除尘器。有的还要设置布袋过滤器或其他形式的过滤器以阻留排风中更小的尘粒。空气与HEPA过滤空气相遇处产生气体屏障,使工作人员和样品得到隔离,保护实验人员安全,样品不受污染。空调送风系统及车间内要定期采用甲醛等消毒剂熏蒸或喷洒,可在非工作班车间采用紫外线灯照射等方式灭菌。
九、洁净(无菌)衣的洗涤与消毒灭菌确认:检查条款5204:100000级以上区域的洁净工作服是否在洁净室(区)内洗涤、干燥、整理,必要时是否按照要求灭菌。按此条款理解,无菌操作区工作服可在十万级,甚至三十万级区清洁,经灭菌后,装在一个加盖的容器中,然后作为一个无菌物料经物料缓冲间送入无菌操作区,但在无菌药生产过程中,这种做法存在污染的风险,应尽量避免,除非有强有力的数据证明可行。4)维持生产环境相对于室外或洁净等级要求低的邻室有一定的压差,防止室外或邻室的空气携带污染物通过门窗或其他缝隙、孔洞侵人。