公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,其中后者可以应用于芯片制造。(顺便提一下,通常讲的菲林即film,底片或胶片的意思,感光为微小晶体颗粒)。
待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得,常用加工设备为直写式光刻设备,如激光直写光刻机、电子束光刻机等。
掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成电路)、FPD(Flat Panel Display,平板显示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷电路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等。为了保证光刻版洁净,必须定期对光刻版进行清洗,而清洗的效果与清洗工艺以及各清洗工艺在设备上的合理配置有着密切的联系。
掩膜版是制作掩膜图形的理想感光性空白板,通过曝光过程,这些图形的信息将被传递到芯片上,用来制造芯片。
由于图形数据准备是掩膜版加工中的关键步骤,要求用户对所提交的版图文件仔细核对,确保图形正确性。以下将对用户较为关心的版图绘制问题作出具体说明。光掩模板或者光罩,曝光过程中的原始图形的载体,通过曝光过程,这些图形的信息将被传递到芯片上。前述将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜(thin-film)集成电路。制造芯片时用.
烤版如需要烤版,烤版时要注意:①首先要选好烤版胶,烤版胶不能太脏。如用固体桃胶配制,一定要用热水溶胶,胶要***溶开、过滤再用。②把适量的烤版胶涂在版面上,用海绵将版面涂擦均匀。③烤版胶不能用干布擦拭。④版材在烘版箱中烘烤,图像区域会均匀变色。不同的PS版,烘烤时间、温度及终颜色会不一致,所以需通过试验确定烤版条件。③如显影机有涂胶装置,一定注意胶辊要保持清洁,否则要弄脏印版。
烤版时还要注意:①烤版箱内的红外灯管一定要横向排列,如纵向排列,往往导致印版瓦楞状变形而影响使用。②烤版胶浓度要合适,如烤版胶太稠,烤版效果和上墨效果也不会令人满意;如烤版胶太稀,烤出的版容易上脏。③烤版温度不能过高,温度过高也会导致铝版基韧化和发软,树脂层焦化,影响耐印力。光刻板的应用光刻技术主要应用于半导体器件,集成电路制造过程中。
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