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来源:2592作者:2021/11/7 4:41:00






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薄膜特性和适用用途薄膜特性和适用用途...内桶结构,确保准确定位;单一光源成像确保准确、均匀和稳定的点密度。它可以输出各种点形状(圆形点、正方形点、正方形和正方形区域的混合点等)。)和各种网络线路(10-625条线路)。适用于彩色胶印、树脂版印刷、丝网印刷、移印和转印。 




根据金属化全过程,在硅衬底上布局一层层仅数纳米技术厚的金属材料层。随后在这里层金属材料上覆上一层层光刻胶。这层光阻剂在曝i光(通常是紫外光)后能够 被特殊水溶液(显影液)融解。使特殊的纳米越过光掩膜直射在光刻胶上,能够 对光刻胶开展可选择性直射(曝i光)。随后应用前边提及的显影液,融解掉被直射的地区,那样,光掩模上的图型就展现在光刻胶上。一般 还将根据风干对策,改进剩下一部分光刻胶的某些特性。所述流程进行后,就能够 对衬底开展可选择性的刻蚀或离子注入全过程,未被融解的光刻胶将维护衬底在这种全过程中不被更改。




光刻工艺主要步骤

准备基底在涂布光阻剂之前,先把硅片进行处理,经过脱水烘培蒸发掉硅片表面的水分,并涂上用来增加光刻胶与硅片表面附着能力的化合物;

涂布光阻剂(photo resist)将硅片放在一个平整的金属托盘上,托盘内有小孔与真空管相连,硅片被吸在托盘上,这样硅片就可以与托盘一起旋转;




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