而采用喷淋的方式却可以 达到通过大气中氧的作用将一价铜转换成二价铜, 并去除一价铜, 这就是需要将空气通入 蚀刻箱的一个功能性的原因。 但是如果空气太多﹐又会加速溶液中的氨的损失而使 PH 值下 降﹐使蚀刻速率降低。4、正式蚀刻把坚好膜并在不和贴上了防腐保护膜的那两块不锈钢板放在入料口的适宜方位，按下蚀刻开关，蚀刻机就开端对不锈钢板进行蚀刻，3分钟后，咱们就在出料口看到了的这两块不锈钢板，细心检查一下，像这样就达到了咱们恳求的蚀刻作用。 氨在溶液中的变化量也是需要加以控制的, 有一些用户采用将纯氨 通入蚀刻储液槽的做法, 但这样做必须加一套 PH 计控制系统, 当自动监测的 PH 结果低于默 认值时﹐便会自动进行溶液添加。 在相关的化学蚀刻（亦称之为光化学蚀刻或 PCH）领域中﹐研究工作已经开始﹐并达至 蚀刻机结构设计的阶段。

蚀刻技术 一、名词定义 均匀性（ Uniformity）-- 相对平均值的变化，常在描述蚀刻速率，CD 和淀积物厚度时使用。 有以下几种百分数表示的数学定义： 平均均匀性=[(Max-Min)÷(2× AVG)]× 100% 中值均匀性=[(Max-min)÷ (Max＋Min)]× 100% 3sigma 均匀性=(3× STD)÷ AVG× 100% 选择比 (Selectivity) – 不同材料蚀刻速率的比值。2～2g/l，增稠剂2～20g/l，抛光温度为25～40℃，抛光时间为1～5h。 中止层 (Stopping layer) – 停止层，通常通过终点控制。 剖面形貌 (Profile) – 器件结构横截面的形状和倾斜度。

一、二槽酸液蚀刻 Glass 材料时设置的温度、速度、需根据酸液的浓度及材料导电层附着力的强弱而调节,以能完 全蚀刻、不短路为原则并配合碱段的参数；由于有***的项目支持﹐因此研究人员有能力从长远意议上对蚀刻装置的设计思想进行改变﹐同时研究这些改变所产生的效果。 b.同时生产前需做首件检测原材料方阻,方阻需在要求范围之内才可正常生产； c.两槽酸液流量要适中范围； d.如出现刻不断等其它的现象时请优先调整各阶段的速度以 1.5 为基准往上调或往下调； e.酸槽的速度必须小于不等于碱槽的速度。 （2）碱洗、脱膜(Glass)