复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

发菌量工作人员产生的污染

   1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）

   2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。

   3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。

   4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品。

   5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。

   6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。

   7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。

　 若能***实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。