无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。苏州卓宇泰公司要求在进入洁净室之前,首先要把眼镜和护目镜上所有看得见的微粒污染物擦掉。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
影响无尘室的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。无尘室内防止微粒子污染基本原则:排除/除去在无法避免大量微粒子发生的机台中,为了不让无尘室内产生微粒子,因此直接做对外排气的动作,即所谓的局部排气。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
分析国外试验资料可以认为
⑴ 无尘室内当工作人员穿无菌服时:静止时的发菌量一般为10-300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人
⑵ 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人
⑶ 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人
⑷ 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14
⑸ 发菌量:发尘量 1:500~1:1000 据国内事例:
⑹ 手术中人员发菌量 878个/ min.人
所以,可知无尘室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人,动态发菌量一般不超过1000个/ min/人,以此作为计算依据是可行的。
清洁室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、防静电鞋、头罩、帽、手套、口罩外,尚有如纸张文具桌子、椅子、晶片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空洗尘器等。产品,材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比,一般量小,可忽略。洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件,且其布料为不燃、不起毛,其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质,另外经过摩擦不产生静电或带电性非常,洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸(或无纤纸)制成,帽子材质则与洁净衣同,二者在穿戴使用时,除了只露出眼睛或脸表面部分外,其他部分均须包覆,在头部部分连接上衣处也必须完全盖住,不能留有空隙,头发亦不能露出来。
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