无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
气流是控制洁净度与温湿度的主要因素,它对噪音也有一些影响。因此风速测量,都是放在无尘室测试的步。特点:超高过滤效果,可有效的除去对呼吸气管造成过敏的有害粉尘,减少呼吸疾病的发生。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满足设计规范,其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制,室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。
影响无尘室的气流因素很多,如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
工业无尘室用途——以无生命微粒的控制为对象。无尘室(无尘厂房)主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或者悬挂的饰品,即便它们一般都是藏在衣服里面,不要佩戴这些饰物。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多种不同行业。
若能***实施“不携入”技术,无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动,在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。2μm过滤器为之,一般洗涤周期视清洁度等级而定,在高洁净区为2~3天,其他区域则为5天~1星期,洗涤完毕干燥后应立即密封。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起,增加了重大微粒子污染的危险性。
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